产品特点
耐热石英腔体材质,防止腔体挂壁污
电感耦合放电形式,离子密度更高且均匀
13.56Mhz独立固态射频电源,功率连续可调且稳定
处理温度低,对样品表面没有热影响
友好的触摸屏操作界面,支持手动/自动
支持多种参数配方设置,精确且可重复性
产品选型
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