产品特点
耐热石英腔体材质，防止腔体挂壁污
电感耦合放电形式，离子密度更高且均匀
13.56Mhz独立固态射频电源，功率连续可调且稳定
处理温度低，对样品表面没有热影响
友好的触摸屏操作界面，支持手动/自动
支持多种参数配方设置，精确且可重复性
产品选型
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